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网络释义：深反应离子刻蚀(deep reactive ion etching)；反应离子刻蚀技术；深反应离子刻蚀技术

网络释义

1.深反应离子刻蚀(deep reactive ion etching)用体硅微机械进行大批量生产的潜力，比起文献中运用 DRIE(deep reactive ion etch)方法制备的器件，可以降低成本。这一 …

1.Fabrication of Ultra Deep Electrical Isolation Trenches with High Aspect Ratio Using DRIE and Dielectric Refill用深反应离子刻蚀和介质填充技术制造具有高深宽比的超深电隔离槽

2.Trench Profile Control of Sipcon DRIE Process on ICP ToolsICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究